Tecuum AG – базирующаяся в Швейцарии компания, специализирующаяся на разработке и производстве вакуумных продуктов для научных и индустриальных применений. Основной сферой деятельности является производство систем для терморизистивного испарения (встречается также наименование «термовакуумное напыление»).
Основатель компании – Sarantos Chaloulos – работает в сфере производства вакуумного оборудования более 40 лет, с 1977 года. Tecuum AG занимается поставками решений для индустри-альных применений и научных лабораторий с 1985 года.
Главное преимущество продукции Tecuum AG – их простота. Они собираются из компонентов с высокой степенью стандартизации и имеют низкую степень автоматизации, что позволяет обеспечить высокую скорость работы, с одной стороны, и великолепную ремонтопригодность, с другой – и все это при низкой стоимости. Сама платформа является достаточно гибкой для того, чтобы была возможна сборка системы практически под любые задачи и условия конечно-го пользователя.

VCM 600 (версии Basic, V1, V2 и V3) в настольном исполнении

VCM 600 - это надежная, быстрая, мощная, простая и универсальная вакуумная система термо-резистивного испарения с возможностью конфигурирования. Несмотря на то, что модель имеет небольшие габариты – она является полноценной системой терморезистивного испарения. Плавное регулирование интенсивности тока позволяет точно контролировать температуру источника.

Высокая стеклянная вакуумная камера позволяет создавать тонкие пленки металлов или дру-гих материалов с высокой однородностью - 95% и 92% на подложках диаметром 10 и 20 см со-ответственно. Стеклянный колпак выполняется из боросиликатного стекла с защитной меха-нической сеткой. Возможно исполнение, в котором стеклянный колпак может быть заменен на вакуумный кожух из нержавеющей стали диаметром 30 см и высотой 45 см.

Версия V1 является стандартной. Версия Basic отличается отсутствием турбомолекулярного насоса, а V2, в отличие от V1, имеет дополнительный ручной затвор для регулировки толщи-ны напыления. Все эти системы имеют только один источник испарения в стандартном исполнении, в то время как в V3 установлено уже два источника испарения с селекторным переключателем для последовательного или совместного использования.

 

Комплект поставки VCM 600 в настольном исполнении (стандартная комплектация):

• Один (для версий Basic, V1 и V2) или два (для V3) испарителя с 2-мя высокоточными про-водами из бескислородной твёрдотянутой меди
• Плита из высококачественного алюминия с шестью (V1 и V2) либо восемью (V3) 1-дюймовыми портами
• Порт откачки вакуумной камеры, NW 100, с защитной сеткой
• Турбомолекулярный откачной пост (80 - 100 л/с), с защитным термокарманом, вакуумным датчиком Pirani и контроллером, а также масляным форвакуумным насосом (кроме версии Basic)
• Вакуумный колпак PYREX (диаметр 12'', высота 18") из боросиликатного стекла с защитной металлической сеткой, либо вакуумная камера из нержавеющей стали диаметром = 30 см, высотой = 45 см с механическим механизмом перемещения (стандартна для версии V2 SS)

• Блок управления мощностью нагрева (PCU) в составе:
- Высоковольтный источник питания переменного тока 150А непрерывный (до 200А – на короткое время) (2 шт. для версии V3)
- Измеритель тока (на каждый канал)
- Система защиты от короткого замыкания (на каждом канале)
- 0-100% регулирование тока нити или лодочки (независимое для каждого канала)
- Максимальная температура накаливания - 1800 °С (для вольфрамовых лодочек)

• Круглый держатель основания из нержавеющей стали, диаметром 10 см, с держателями для образцов
• Возможность регулирования расстояния от образца до держателя подложки (мин. 15 см)
• Вентиляционный клапан (ручной)
• Разъемы для подключения воды (вход-выход)
• Для версии V2 - Ручной затвор с регулируемым положением
Базовое давление:
• 5.0x10-6 гПа со стандартным (80 - 100 л/с) турбомолекулярным насосом
• 1,0x10-6 гПа - с опционально доступным турбомолекулярным насосом со скоростью откачки 300 л/с.
В любую систему можно добавить какие-либо опции. Набор доступных опций – в конце брошюры.
Цена системы терморизистивного испарения VCM 600 V1 в стандартном исполнении (с турбомолекулярным насосом) – менее 30 тысяч евро.

 

VCM 600 V4 - Настольный вакуумный терморезистивный испаритель с вращающейся подложкой и двумя источниками испарения

VCM600 V4 оснащена следующими дополнительными опциями:
• Два источника испарения с селекторным переключателем для последовательного или сов-местного испарения;
• Держатель подложки с возможностью вращения со скоростью 0-40 об/мин;
• Электромагнитный затвор с регулируемым положением для контроля толщины напыляемого слоя;
• SQM-160 – двухканальный кварцевый измеритель толщины с одной охлаждаемой водой го-ловкой.
Система VCM 600 V4 имеет практически максимальную комплектацию, возможную для компактных настольных систем такого типа. Ее возможностей достаточно для практически любых задач, решаемых с помощью метода терморезистивного испарения.

VCM 600 V3 Rack, SP3_SS и SP3-Glass – напольный вакуумный терморезистивный испаритель с двумя/тремя источниками испарения

Напольное исполнение системы VCM 600 V3 имеет характеристики, подобные настольной си-стеме, но в другом корпусе. Также в стандартную комплектацию включен SQM-160 – 2 ка-нальный кварцевый измеритель толщины с одной охлаждаемой водой головкой. Стандартный источник питания позволяет работать с токами до 250А в непрерывном режиме и до 300А в режиме «вспышки».
Системы SP3_SS и SP3_Glass имеют уже три источника испарения (ток в непрерывном режиме – 150А), в остальном они идентичны системе V3 Rack.
Исполнение V3 Rack является базовым для напольных систем. Все напольные системы имеет тот же набор опций, что и настольные варианты.

VCM 600 V3 GB – вакуумный испаритель для интеграции в перчаточный ящик

 

VCM 600 V3_GB представляет собой специальный тепловой испаритель, предназначенный для присоединения к перчаточной камере (Glove Box, GB). Вакуумная камера из нержавеющей стали и стойка для инструментов размещаются под перчаточной камерой. Полезный объем внутри перчаточной камеры практически не используется - только плоская дверца из нержавеющей стали, установленная на нижней плоскости перчаточной камеры. Возможно подключение как к новой, так и имеющейся у пользователя GB.
Сама вакуумная камера может иметь различную конфигурацию, дополнительные вакуумные порты и т.п. Она прикрепляется к перчаточному ящику снизу с помощью специального адаптера для обеспечения герметичности. На боковой стенке камеры установлена дверца из нержавеющей стали со стеклянным смотровым окном, через которую загружаются материалы для испарения и выполняется очищение камеры. Через дверцу внутри GB пользователь имеет до-ступ к держателю подложки для загрузки/выгрузки образцов и вентиляции камеры газом.

 

Станция для испарения органических материалов с PID-регулировкой температуры

Компактная испарительная станция с двумя тепловыми источниками (с затворами или без них), держателем подложки, заслонкой подложки и PID-регулятором температуры, позволяю-щим с высокой точностью регулировать температуру до 500 °С. Все детали могут быть при-креплены к вакуумной камере с портами CF150 или CF200. Комплект поставки в стандартном исполнении:
• 2 тепловых источника (с опционально доступными затворами)
• PID-регулятор температуры для последовательного испарения (для совместного требуется приобретение второго регулятора)
• Ручной затвор
• Турбомолекулярная откачная система с контроллером, форвакуумным насосом и измерите-лем вакуума
• Вакуумная камера из нержавеющей стали. Имеет одну дверцу CF150 SS со стеклянным смотровым окном, расположенную с одной стороны камеры. Через эту дверцу пользователь может наблюдать процесс испарения. Второй порт CF100 с защитной сеткой предназначен для подключения турбомолекулярного насоса.
• Держатель подложки (опционально доступна возможность вращения)
• Компактная панель инструментов для размещения всех электронных контроллеров (для установки в стойку)

Список доступных для терморезиствных испарителей Tecuum опций

1. Дополнительный источник испарения для последовательного испарения
1A.  Дополнительный стандартный источник питания (150А) для каждого источника испаре-ния для совместного испарения
2. Источник питания тока 300A в комплекте с измерителем, проводами и т.п.
3. Камера из нержавеющей стали, диаметром 30 см и высотой 40 см, со смотровым окном и вспомогательным механизмом подъема
4. D-образная камера из нержавеющей стали, с откидной дверцей со смотровым окном
5. Турбомолекулярный насос со скоростью откачки 300 л/с
6. Ручной затвор для VCM600
7. Электромеханический затвор
8/9. Опция вращения подложки со скоростью до 40/70 об/мин. Не совместима с опцией нагрева.
10. Форвакуумный насос
11. Комплект термопар.
12. Возможность подогрева подложки до 250 °С, с ручным управлением (контроль тока нагрева).
13. Возможность подогрева подложки до 350 °С, регулировка с помощью PID контроллера.
14. Адаптер для микроэлектронных лодочек
15. VCM-Thick_01 SQM-160, 2Ch, блок контроля толщины кварцевых кристаллов, с одной кварцевой головкой, охлаждаемой водой, кабели осциллятора
16. VCM-Thick_02 1Ch блок контроля толщины кварцевого кристалла с одной кварцевой го-ловкой охлаждаемой водой, проводом, осциллятором, кабелями, программным обеспечением (Для использования требуется подключение к компьютеру)