Micro-Hybrid Electronics GmbH один из мировых лидеров рынка по разработке и производству сложных электронных решений. За более чем 25 лет с момента основания, компания расширила свой ассортимент от ИК излучателей и детекторов для газоанализа, до миниатюрных электронных модулей сенсорного управления, а также сенсоров для инерционных измерений в железнодорожных системах.

ИК излучатели Micro-Hybrid - это на данный момент самые совершенные излучатели для газоаналитических применений. Они обладают самой высокой мощностью на рынке, что позволяет регистрировать минимальные концентрации газов, в том числе в многопроходных кюветах. Спектр этих твердотельных ИК излучателей максимально приближен к спектру абсолютно черного тела в диапазоне от УФ до 14 мкм. Одним из преимуществ ИК излучателей Micro-Hybrid является герметичное исполнение окна, что позволяет использовать их в условиях агрессивной внешней среды. Номенклатура излучателей Micro-Hybrid охватывают все области применения для измерения и контроля концентрации газа: от экономичных ИК-излучателей для массового применения до высокопроизводительных источников излучения для сложных измерительных задач.

Серии ИК излучателей:

Излучатели на основе технологии HermeSEAL®

Этот уникальный процесс корпусирования был разработан Micro-Hybrid в сотрудничестве с Jenoptik: путем пайки металлизированного фильтра к отражателю или крышке, создается герметичный ИК-излучатель с высокой эффективностью. Поэтому излучатели HermeSEAL также можно использовать в жестких условиях, для которых обычные инфракрасные компоненты не подходят. К ним относятся высокие температуры и высокая влажность.



Преимущества:

• Увеличение срока службы за счет сокращения процессов окисления
• Наполнение излучателя различными газами для изменения мощности излучения и постоянной времени
• Высокая безопасность для взрывозащищенных применений
• Идеально подходит для портативных устройств с низким энергопотреблением

JSIR 340 – бюджетная версия излучателей на основе технологии C-MOSI®

Микросхема MEMS, используемая в инфракрасных излучателях, состоит из многослойной мембраны нагревательной пластины, содержащей слой C-MOSI® из стабильного высокотемпературного металла. Чип излучателя базируется на кремниевой подложке с протравленной задней мембраной. Все тонкопленочные процессы выполняются с использованием стандартных процессов MEMS и CMOS-совместимых материалов. Активный резистивный слой C-MOSI® защищен от старения и окружающей среды.

Преимущества:

• Экономически эффективные компоненты: совместимы со стандартными технологиями MEMS и CMOS
• Эффективный процесс автоматической сборки возможен благодаря корпусу SMD
• Температура мембраны до 800 ° C для оптимальной эффективности излучения
• Большая глубина модуляции из-за низкой тепловой массы

JSIR 350 - ИК-излучатель премиум класса на основе технологии NAC

Высококачественные источники инфракрасного излучения на основе МЭМС для NDIR газоанализа в медицинской технике и для применения в биотехнологии, промышленности и сельском хозяйстве. Микросхема MEMS, используемая в инфракрасных излучателях, состоит из многослойной мембраны нагревательной пластины, содержащей устойчивый к высоким температурам металлический нагревательный слой и усовершенствованные кремниево-металлические микроструктурированные поверхности. Конечный пассивирующий слой гарантирует долговременную стабильность поведения излучения при температурах нагревательной пластины до 850 ° C. Чип эмиттера основан на кремниевой подложке с мембраной обратного травления. Все тонкопленочные процессы выполняются с использованием CMOS-совместимых материалов.

Преимущества:

• Истинное излучение абсолютно черного тела
• Наибольшая интенсивность излучения из-за температуры нагревательной пластины до 850 ° C в сочетании с коэффициентом излучения Ɛ ~ 1
• Длительный срок службы благодаря термомеханически адаптированной мембране
• Долговременная стабильность спектра; даже в герметически закрытых корпусах

 
Модели и характеристики:

	Тип корпуса	Активная область	Заполняющий газ	Темп. мин	Темп. макс	Апертура	Фильтр
Серия JSIR-340-4
JSIR340-4-AL-C-D5.8-0-0	TO-39 с колпачком	2,2 х 2,2 мм2		-20 °C	85 °C	5,8 мм	Без окна
Серия JSIR-340-5
JSIR340-5-BL-C-D2.55-0-0	TO-46 с колпачком	1,0 х 1,0 мм2		-20 °C	85 °C	2,5 мм	Без окна
Серия JSIR-350-4
JSIR350-4-AL-C-D5.8-0-0	TO-39 с колпачком	2,2 х 2,2 мм2		-20 °C	85 °C	5,8 мм	Без окна
JSIR350-4-AL-C-D5.8-2-A2	TO-39 с колпачком	2,2 х 2,2 мм2	Kr	-20 °C	85 °C	5,8 мм	CaF2
JSIR350-4-AL-C-D5.8-2-A1	TO-39 с колпачком	2,2 х 2,2 мм2	Kr	-20 °C	85 °C	5,8 мм	Сапфир
JSIR350-4-AL-C-D5.8-2-A2	TO-39 с колпачком	2,2 х 2,2 мм2	Kr	-20 °C	85 °C	5,8 мм	CaF2
JSIR350-4-AL-C-D5.8-2-A4	TO-39 с колпачком	2,2 х 2,2 мм2	Kr	-20 °C	85 °C	5,8 мм	BaF2
JSIR350-4-AL-C-D5.8-1-A1	TO-39 с колпачком	2,2 х 2,2 мм2	N2	-20 °C	85 °C	5,8 мм	Сапфир
JSIR350-4-AL-C-D.5.8-1-A2	TO-39 с колпачком	2,2 х 2,2 мм2	N2	-20 °C	85 °C	5,8 мм	CaF2
JSIR350-4-AL-C-D.5.8-1-A4	TO-39 с колпачком	2,2 х 2,2 мм2	N2	-20 °C	85 °C	5,8 мм	BaF2
JSIR350-4-AL-C-D3.7-2-A7-IHS	TO-39 с колпачком	2,2 х 2,2 мм2	Kr	-20 °C	125 °C	5,8 мм	Кремний
JSIR350-4-AL-C-D5.8-2-A1-IHS	TO-39 с колпачком	2,2 х 2,2 мм2	Kr	-20 °C	185 °C	5,8 мм	Сапфир
JSIR350-4-AL-R-D6.0-0-0	TO-39 с отражателем	2,2 х 2,2 мм2		-20 °C	85 °C	6,0 мм	Без окна
JSIR350-4-AL-R-D6.0-2-A2	TO-39 с отражателем	2,2 х 2,2 мм2	Kr	-20 °C	85 °C	6,0 мм	CaF2
JSIR350-4-AL-R-D6.0-2-A4	TO-39 с отражателем	2,2 х 2,2 мм2	Kr	-20 °C	85 °C	6,0 мм	BaF2
JSIR350-4-AL-R-D6.0-1-A1	TO-39 с отражателем	2,2 х 2,2 мм2	N2	-20 °C	85 °C	6,0 мм	Кремний
JSIR350-4-AL-R-D6.0-1-A2	TO-39 с отражателем	2,2 х 2,2 мм2	N2	-20 °C	85 °C	6,0 мм	CaF2
JSIR350-4-AL-R-D6.0-1-A4	TO-39 с отражателем	2,2 х 2,2 мм2	N2	-20 °C	85 °C	6,0 мм	BaF2
JSIR350-4-AL-R-D6.0-2-A7-IHS	TO-39 с отражателем	2,2 х 2,2 мм2	Kr	-20 °C	125 °C	6,0 мм	Кремний
JSIR350-4-AL-R-D6.0-2-A1-IHS	TO-39 с отражателем	2,2 х 2,2 мм2	Kr	-20 °C	185 °C	6,0 мм	Сапфир
JSIR350-4-CB-0-S5.0-0-A7	SMD (поверхностно монтируемый)	2,2 х 2,2 мм2	воздух	-20 °C	85 °C	6,0 мм	Кремний
Серия JSIR-350-4  с герметичным окном
JSIR350-4-AL-C-D3.7-2-A7-I	TO-39 с колпачком	2,2 х 2,2 мм2	Kr	-20 °C	125 °C	5,8 мм	Кремний
JSIR350-4-AL-C-D5.8-2-A1-I	TO-39 с колпачком	2,2 х 2,2 мм2	Kr	-20 °C	185 °C	5,8 мм	Сапфир
JSIR350-4-AL-R-D6.0-2-A7-I	TO-39 с отражателем	2,2 х 2,2 мм2	Kr	-20 °C	125 °C	6,0 мм	Кремний
JSIR350-4-AL-R-D6.0-2-A1-I	TO-39 с отражателем	2,2 х 2,2 мм2	Kr	-20 °C	185 °C	6,0 мм	Сапфир
Серия JSIR-360-4
JSIR360-4-AL-C-D5.8-0-0	TO-39 с колпачком	2,2 х 2,2 мм2		-20 °C	85 °C	5,8 мм	Без окна
JSIR360-4-AL-R-D6.0-0-0	TO-39 с отражателем	2,2 х 2,2 мм2		-20 °C	85 °C	6,0 мм	Без окна

Поглощение падающего инфракрасного излучения образует градиент температур на поверхности детектирующей мембраны. В силу пироэлектрических свойств материала датчика, этот перепад температур преобразуется в изменение заряда, которое можно измерить на электродах чипа датчика.
 
В отличие от чипа на основе LiTaO³, который применяет большинство конкурентов, пироэлектрические детекторы Micro-Hybrid используют чувствительные элементы на основе технологии МЭМС. Пироэлектрический элемент состоит из тонкой плёнки из керамического пироэлектрического материала (CPM) толщиной примерно 0.5 мкм на модифицированной мембране на основе кремния, произведённой с помощью глубокого реактивного ионного травления DRIE. Оптически прозрачный фронтальный электрод позволяет инфракрасному излучению поглощаться активной зоной. Диапазон пробега поглощения у данной зоны – от 2 до 15 мкм.

 

Термоэлектрические ИК-детекторы серии MTS (Micro-Hybrid Thermopile Sensors) отличаются особенно высокой обнаружительной способностью и долговечностью. Они предназначены для бесконтактного измерения температуры и инфракрасного газоанализа. ИК термопарные датчики детектируют ИК излучение в широком спектральном диапазоне. Основой каждого детектора является так называемая термопара. Термодиффузионные токи двух разных металлов (эффект Зеебека) генерируют электрическое напряжение, которое передается и обрабатывается как измерительных сигнал. Чувствительность детектора существенно влияет на качество результата измерения.

Контроль температуры машин и процессов при высоких температурах окружающей среды является реальной проблемой. Наши высокотемпературные термопарные детекторы подходят для работы в особых условиях, таких как высокие температуры в промышленных применениях.

Структура и варианты исполнения термопарных детекторов Micro-Hybrid

Высокочувствительные термопарные детекторы MTS доступны в корпусах TO46 и TO39 с одним, двумя или четырьмя оптическими каналами. Micro-Hybrid предлагает одноканальные детекторы с 80 термопарами для измерения температуры инфракрасного излучения и 200 термопарами для газоанализа. Адаптируя ИК-датчики к различным оптическим фильтрам, Micro-Hybrid предлагает индивидуальные решения для термометрии, бесконтактного измерения температуры или контроля газа (два узкополосных окна, двухканальный выход).

ИК спектрометрия с помощью термопарной линейки TPL 64

64-пиксельная термопарная линейка обнаруживает инфракрасное излучение и преобразует его в аналоговый сигнал напряжения. Важные параметры, такие как высокая чувствительность и специфическая обнаружительная способность каждого пикселя, являются пиковыми значениями по сравнению с другими аналогичными продуктами на рынке. Превосходный спектральный диапазон от 2 до 16 мкм позволяет использовать линейку в спектрометрии для анализа газов и жидкостей.

Применения термопарных ИК-детекторов

Термопарные ИК-детекторы используются во многих применениях в промышленности, исследованиях и науке, включая газоанализ, спектрометрию, измерение и мониторинг температуры, а также пирометрию. Поскольку температура и концентрации газа являются одними из наиболее важных параметров процесса, их надежное обнаружение является элементарным компонентом для мониторинга и обеспечения определенных процессов.

Измерение температуры ИК методом               NDIR (недисперсионный инфракрасный) газоанализ

                                            

Дополнительная информация:

Детектируемые газы PDF (160 КБ)
Стандартные инфракрасные фильтры PDF (135 КБ)